瑞士VAT 590系列电动高真空调节阀 产品类型：电动驱动高真空调节阀（Proportional Control Valve） 核心功能： 精密压力调节（10⁻³ ~ 10⁻⁹ mbar范围） 动态流量控制（适用于CVD、PVD、刻蚀等工艺）

瑞士VAT 54系列气动高真空挡板阀 产品类型：气动驱动高真空挡板阀（Pneumatic Gate Valve） 核心功能： 快速隔离真空腔体（开/关时间1秒） 适用于半导体、光伏、科研设备的超高真空（UHV）系统

瑞士VAT真空阀47系列 VAT 47系列产品定位 产品类型：气动驱动高真空角阀（Angle Valve） 核心用途： 真空腔体的隔离与通气控制 适用于半导体、光伏、真空镀膜、科研设备等超高真空（UHV）场景

瑞士VAT真空部件 334347 产品身份确认 原厂零件号：334347 所属系列：VAT真空阀门密封组件 适用机型： VAT 59000系列高真空角阀 VAT 47000系列闸板阀

瑞士VAT真空阀 01032-KE01-0002 型号解析（VAT标准命名） 代码段含义 01032系列：小口径高真空角阀（经济型） KE01法兰类型：ISO-KF16（DN16） 0002配置：气动执行器+机械位置指示

瑞士VAT真空阀 01034-KE24-ACT2 型号解析（VAT 2023新版命名规则） 代码段含义 01034系列：超高真空角阀（第三代改进型） KE24法兰配置：ISO-KF40法兰 + 2个CF35接口 ACT2驱动方式：双电控气动执行器（带智能控制模块）