瑞士VAT真空阀47系列

瑞士VAT真空阀47系列

以下是关于 瑞士VAT公司47系列高真空角阀 的详细技术解析，涵盖其型号分类、技术特点、选型指南及中国市场应用情况：

一、VAT 47系列产品定位

• 产品类型：气动驱动高真空角阀（Angle Valve）

• 核心用途：

• 真空腔体的隔离与通气控制

• 适用于半导体、光伏、真空镀膜、科研设备等超高真空（UHV）场景

• 核心认证：

• 符合SEMI标准，漏率<1×10⁻⁹ mbar·L/s

• 材料兼容性：316L不锈钢、氟橡胶（FKM）或全金属密封

二、型号命名规则（以VAT 47152-AA为例）

三、中国市场常用子型号对比

四、核心技术参数

1. 真空性能：

• 漏率：氟橡胶版<1×10⁻⁹ mbar·L/s，金属密封版<1×10⁻¹¹ mbar·L/s

• 耐压差：标准版1×10⁻⁹ mbar至大气压（金属密封版可达10⁻¹² mbar）

2. 机械特性：

• 驱动方式：单/双作用气动（需0.4~0.6MPa压缩空气）

• 启闭时间：<1秒（DN40以下规格）

• 循环寿命：>100万次（金属密封版>50万次）

3. 环境适应性：

• 氟橡胶版耐溶剂性：兼容丙酮、酒精（不兼容强酸）

• 金属密封版烘烤温度：最高250°C（需选配高温电磁阀）

五、选型关键步骤

1. 确定通径：根据管道尺寸选择DN16/DN40/DN63/DN160等

2. 选择密封：

• 氟橡胶（AA）：成本低，适合一般真空（≤10⁻⁹ mbar）

• 金属密封（MM）：超高真空（≤10⁻¹¹ mbar），耐高温

3. 匹配法兰：

• CF法兰：超高真空标准（半导体行业）

• ISO-K法兰：大流量应用（如镀膜设备）

4. 驱动配置：

• 单作用（弹簧复位）：断电自动关闭

• 双作用：需双向气控，响应更快

六、安装与维护要点

• 安装规范：

• 阀体箭头方向需与气流方向一致

• 法兰螺栓需对角逐步拧紧（扭矩参考VAT技术手册）

• 维护建议：

• 氟橡胶密封圈每2年更换（频繁使用工况）

• 金属密封阀每5年做氦质谱检漏

七、典型故障处理

八、中国市场的替代方案

1. 国产替代：

• 北京中科科仪 ZK系列角阀（DN16~DN200，漏率<5×10⁻⁹ mbar·L/s）

2. 日系品牌：

• SMC VXH系列（适用于中低真空，性价比高）

• 交货周期：常规型号库存2-4周，定制阀体需8-12周

瑞士VAT真空阀47系列