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产品简介
瑞士VAT真空部件 334347产品身份确认原厂零件号：334347所属系列：VAT真空阀门密封组件适用机型：VAT 59000系列高真空角阀VAT 47000系列闸板阀
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| 品牌 | 其他品牌 | 应用领域 | 化工,能源,汽车及零部件,电气,综合 |
|---|
瑞士VAT真空部件 334347
原厂零件号：334347
所属系列：VAT真空阀门密封组件
适用机型：
VAT 59000系列高真空角阀
VAT 47000系列闸板阀
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 材质 | 全氟醚橡胶（FFKM） |
| 硬度 | 75±5 Shore A |
| 真空密封等级 | ≤1×10⁻⁹ mbar·L/s |
| 耐温范围 | -20℃~+320℃（短期350℃） |
| 耐化学性 | 耐等离子体/臭氧/酸碱腐蚀 |
| 尺寸规格 | 适配DN63（2.5"）阀门法兰 |
复合式设计：
主密封唇：双道FFKM密封边缘
支撑骨架：不锈钢316L内嵌环
抗挤压设计：
截面优化结构（承压能力提升30%）
| VAT阀门系列 | 具体型号 |
|---|---|
| 59000 | 59063, 59080 |
| 47000 | 47150, 47200 |
| 39000 | 需确认法兰尺寸匹配 |
表面处理：
法兰密封面粗糙度Ra≤0.8μm
需用无绒布+异丙醇清洁
安装扭矩：
| 法兰类型 | 推荐扭矩 |
|---|---|
| ISO-KF63 | 15~18 Nm |
| CF63 | 30~35 Nm |
氦质谱检漏：
测试压力：1×10⁻⁶ mbar
允许泄漏率：≤1×10⁻⁹ mbar·L/s
老化测试：
250℃烘烤72小时后压缩变形≤20%
| 品牌/型号 | 差异点 |
|---|---|
| VAT 334347-M | 金属包覆版本（耐450℃） |
| Pfeiffer 033434 | Kalrez®材质，价格+40% |
| 国产FFKM-DN63 | 成本低60%，寿命约50%原厂 |
| 工况条件 | 预期更换周期 |
|---|---|
| 常温高真空（<10⁻⁷ mbar） | 3~5年 |
| 等离子体环境 | 6~12个月 |
| 高温（280℃） | 1~2年 |
该密封件需配合 VAT专用真空脂（P/N: 334500） 使用。对于半导体设备，建议每12个月预防性更换，并保留旧件进行失效分析。批量订单（≥50件）可申请15%年度协议折扣。
瑞士VAT真空部件 334347
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