瑞士VAT 54系列气动高真空挡板阀

瑞士VAT 54系列气动高真空挡板阀

一、54系列产品定位

• 产品类型：气动驱动高真空挡板阀（Pneumatic Gate Valve）

• 核心功能：

• 快速隔离真空腔体（开/关时间<1秒）

• 适用于半导体、光伏、科研设备的超高真空（UHV）系统

• 核心优势：

• 漏率低至<1×10⁻⁹ mbar·L/s（金属密封版可达10⁻¹¹ mbar·L/s）

• 零泄漏设计，兼容腐蚀性气体（如CVD工艺中的Cl₂、SF₆）

二、型号命名规则（以VAT 54152-AA为例）

三、中国市场常用子型号对比

四、核心技术参数

1. 真空性能：

• 漏率：氟橡胶版<1×10⁻⁹ mbar·L/s，金属密封版<1×10⁻¹¹ mbar·L/s

• 耐压差：标准版10⁻⁹ mbar至大气压（双向耐压可选）

2. 机械特性：

• 驱动方式：双作用气动（需0.5~0.7MPa压缩空气）

• 启闭时间：DN63以下≤0.5秒，DN200≤1.5秒

• 循环寿命：>500,000次（金属密封版）

3. 材料兼容性：

• 氟橡胶（AA）：成本低，不耐等离子体

• 金属密封（MM）：耐腐蚀、耐高温，价格高30%~50%

• 阀体材质：316L不锈钢（可选电解抛光EP级）

• 密封选项：

五、选型关键步骤

1. 确定通径：根据管道流量选择DN40/DN63/DN160/DN200

2. 选择密封：

• 常规工艺：氟橡胶（AA）

• 刻蚀/离子注入：金属密封（MM）

3. 匹配法兰：

• ISO-K法兰：大流量（如镀膜设备）

• CF法兰：超高真空（如半导体腔体）

4. 特殊需求：

• 腐蚀性气体：选配镀镍阀体或哈氏合金密封

• 高温环境：金属密封+高温电磁阀（如Festo MS6系列）

六、安装与维护要点

• 安装规范：

• 阀体需水平或垂直安装（避免倾斜）

• 法兰螺栓需按对角线顺序拧紧（扭矩参考VAT手册）

• 维护建议：

• 每6个月检查密封面磨损（金属密封版可定期研磨）

• 氟橡胶密封圈在暴露大气后需静置12小时再抽真空

七、典型故障处理

八、中国市场的替代方案

1. 国产替代：

• 沈阳科仪 GDC系列挡板阀（DN40~DN250，漏率<5×10⁻⁹ mbar·L/s）

2. 日系品牌：

• SMC VZH系列（中低真空，性价比高）

• 交货周期：

• 标准型号：4-6周

• 定制版本（如镀镍阀体）：8-12周

瑞士VAT 54系列气动高真空挡板阀