瑞士VAT 590系列电动高真空调节阀

瑞士VAT 590系列电动高真空调节阀

一、590系列产品定位

• 产品类型：电动驱动高真空调节阀（Proportional Control Valve）

• 核心功能：

• 精密压力调节（10⁻³ ~ 10⁻⁹ mbar范围）

• 动态流量控制（适用于CVD、PVD、刻蚀等工艺）

• 核心优势：

• 分辨率达0.1%满量程，响应时间<50ms

• 全金属密封（漏率<1×10⁻¹¹ mbar·L/s）

• 支持模拟量（0-10V/4-20mA） 和 数字通信（RS485/Profibus） 控制

二、型号命名规则（以VAT 590.12-AA为例）

三、中国市场常用子型号对比

四、核心技术参数

1. 调节性能：

• 线性度：±0.5%满量程

• 重复精度：±0.2%

• 流量系数（Cv）：0.02（DN25）~0.15（DN63）

2. 电气特性：

• 电源电压：24V DC ±10%

• 功耗：<15W（待机<5W）

• 位置反馈：可选0-10V或SSI绝对值编码器

3. 环境适应性：

• 氟橡胶密封：-20°C ~ +150°C

• 金属密封：-200°C ~ +250°C（烘烤工况）

• 温度范围：

• 耐腐蚀性：兼容Cl₂、NF₃等工艺气体（需选配镀镍阀体）

五、选型关键步骤

1. 确定通径：

• 根据流量需求选择DN25/DN40/DN63

• 计算公式：$𝑄={𝐶}_{𝑣}\cdot \sqrt{\mathrm{\Delta }𝑃\cdot 𝜌}$
  （Q: 流量，ΔP: 压差，ρ: 气体密度）

2. 选择控制模式：

• 模拟量控制：适用于PLC直接控制

• 数字通信：适合集成到智能真空管理系统

3. 密封材质：

• 氟橡胶（AA）：低成本，适合一般真空（≤10⁻⁹ mbar）

• 金属密封（MM）：超高真空（≤10⁻¹¹ mbar），耐等离子体

4. 特殊选项：

• 加热版本：防止气体冷凝（如SiH₄工艺）

• ATEX防爆认证：用于危险环境

六、安装与调试要点

• 机械安装：

• 阀体方向需与气流一致（箭头标识）

• 避免振动源（建议加装减震支架）

• 电气连接：

• 屏蔽电缆布线（防止电磁干扰）

• 接地电阻<1Ω

• 参数校准：

1. 通过HMI或软件设置零位（0%开度）

2. 标定满量程（100%开度对应10V/20mA）

3. 测试阶跃响应（目标：超调量<5%）

七、典型故障处理

瑞士VAT 590系列电动高真空调节阀