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产品简介
瑞士VAT真空阀 01034-KE01-0002型号解析（VAT命名规则）代码段含义01034系列：小口径高真空角阀KE01法兰类型：ISO-KF16（DN16）0002配置代码：带气动执行器+位置传感器
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| 品牌 | 其他品牌 | 应用领域 | 化工,能源,汽车及零部件,电气,综合 |
|---|
瑞士VAT真空阀 01034-KE01-0002
| 代码段 | 含义 |
|---|---|
| 01034 | 系列：小口径高真空角阀 |
| KE01 | 法兰类型：ISO-KF16（DN16） |
| 0002 | 配置代码：带气动执行器+位置传感器 |
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 真空范围 | 10⁻⁹ ~ 1000 mbar |
| 泄漏率 | ≤1×10⁻⁹ mbar·L/s（金属密封） |
| 阀体材质 | 不锈钢316L（EP抛光） |
| 密封选项 | 全金属密封 / FFKM弹性体 |
| 驱动方式 | 气动双作用（4~6 bar） |
| 响应时间 | ≤0.3秒（开/关） |
| 温度范围 | -200℃~250℃（标准型） |
零泄漏设计：
金属波纹管传动（无动态密封泄漏风险）
锥面阀座密封（10⁻⁹ mbar级密封）
智能反馈：
集成磁耦位置传感器（PNP输出）
LED状态指示灯（红/绿双色）
分析仪器：
质谱仪进样系统隔离
电子显微镜样品室
半导体：
晶圆传输模块（EFEM）
刻蚀设备气体通路控制
法兰连接：
扭矩限制：5 Nm（ISO-KF16卡箍）
密封圈：无氧铜垫圈（P/N: VAT-CU16）
气路要求：
驱动气体：氮气或氩气（纯度≥99.999%）
管路过滤：0.1μm过滤器
| 端子 | 功能 |
|---|---|
| 1（棕色） | 24V DC+ |
| 2（蓝色） | 0V |
| 3（黑色） | 阀开信号（PNP） |
| 4（白色） | 阀关信号（PNP） |
| 项目 | 操作 | 周期 |
|---|---|---|
| 密封面检查 | 白光干涉仪检测 | 1年/10⁵次循环 |
| 波纹管寿命 | 氦检漏测试 | 5年或10⁶次循环 |
| 位置传感器校准 | 阀位反馈调整 | 2年 |
| 代码 | 含义 | 处理方案 |
|---|---|---|
| E01 | 传感器信号丢失 | 检查磁耦对齐 |
| E03 | 气压不足 | 确认驱动压力≥4 bar |
| E05 | 超温报警 | 检查环境温度是否超标 |
| 品牌/型号 | 差异点 |
|---|---|
| VAT 01034-KE01-0001 | 无位置传感器 |
| Pfeiffer EVR 116 | 电动执行器，响应较慢 |
| NorCal UHV-16 | 价格低25%，泄漏率略高 |
该型号标准交货期12周。如需 超高真空版（10⁻¹¹ mbar） 或 无磁版本，需额外增加6周定制周期。建议配套使用VAT 52X系列 电磁阀组实现自动控制。
瑞士VAT真空阀 01034-KE01-0002
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