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产品简介
瑞士VAT真空闸阀板96603-01基础信息原厂零件号：96603-01适用阀门型号：VAT 96600系列高真空闸板阀材质：不锈钢316L（电解抛光EP级）表面处理：Ra≤0.1μm（镜面抛光）
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| 品牌 | 其他品牌 | 应用领域 | 化工,能源,汽车及零部件,电气,综合 |
|---|
瑞士VAT真空闸阀板96603-01
原厂零件号：96603-01
适用阀门型号：VAT 96600系列高真空闸板阀
材质：不锈钢316L（电解抛光EP级）
表面处理：Ra≤0.1μm（镜面抛光）
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 尺寸 | 适配DN160（6.3"）阀门 |
| 厚度公差 | ±0.005mm |
| 平面度 | ≤0.01mm/m |
| 真空密封等级 | ≤1×10⁻⁹ mbar·L/s（配合金属密封圈） |
| 耐温范围 | -270℃~+450℃（全金属密封配置） |
双面密封设计：
主密封面：锥形金属密封（铜或不锈钢）
次级密封：可选弹性体密封（如VITON®）
导向系统：
精密直线导轨（摩擦系数<0.001）
驱动接口：
标准适配VAT气动执行器（如96100系列）
| VAT阀门系列 | 具体型号示例 |
|---|---|
| 96600 | 96603, 96606, 96610 |
| 96800 | 96803（需确认尺寸） |
安装步骤：
清洁阀腔（使用无尘布+高纯酒精）
预装密封圈（需专用安装夹具）
阀板插入后手动测试滑动阻力（应≤5N）
扭矩要求：
法兰螺栓扭矩：20~25 Nm（ISO-KF160）
| 工况 | 预期寿命 |
|---|---|
| 常温高真空（<10⁻⁷ mbar） | ＞10⁷次循环 |
| 高温（300℃） | 约5×10⁶次循环 |
| 等离子体环境 | 需每5×10⁵次检查磨损 |
光学检测：
使用白光干涉仪测量密封面划痕（深度≤0.5μm为安全）
性能测试：
氦质谱检漏（阀板闭合状态下≤1×10⁻⁹ mbar·L/s）
| 品牌/型号 | 差异点 |
|---|---|
| VAT 96603-01-M | 镀金密封面（耐腐蚀+导电） |
| Pfeiffer PGV 160 | 兼容但需修改执行器接口 |
| 国产仿制件 | 成本低60%，寿命约40%原厂 |
该阀板需配合 VAT 229310系列密封圈 使用。对于半导体设备，建议每2年或10⁶次循环强制更换。定制版本（如镀铝氮化硅涂层）交货期需额外增加8周。
瑞士VAT真空闸阀板96603-01
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