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优势供应美国MKS Granville-Phillips发生器

更新时间:2021-03-03

简要描述:

优势供应美国MKS Granville-Phillips发生器
MKS 传感器 MKS Granville-Phillips MKS计量泵 MKS控制器 Granville-Phillips真空计
全系列产品大量现货请咨询上海茂硕机械设备有限公司

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 MKS射频功率发生器为薄膜处理设备提供可靠的固态功率。它们是半导体制造系统的重要组成部分,该系统可以生产现代计算机和电子设备所需的集成电路(IC)或芯片。MKS射频发生器与我们的阻抗匹配网络和我们的V / I探头相结合,构成了一个完整的RF传输系统。

NOVA®系列RF发电机以2 MHz的频率提供2,500或5,000瓦的额定输出功率。NOVA系列发生器提供先进的RF等离子生成和控制功能,可在薄膜处理应用中以低成本和高成品率提供。它们非常适合在集成电路,平板显示器和数据存储设备制造过程中进行等离子增强化学气相沉积(PECVD),高密度等离子CVD(HDPCVD),蚀刻和其他薄膜应用。

 

  • 自动频率调整允许固定匹配的网络进行更快的调整
  • 出色的可靠性,可延长正常运行时间并降低拥有成本
  • 自动负载失配保护可防止功率放大器过度耗散
  • 无限的负载阻抗范围,可提供更大的正向功率“净空”,并能在任何负载下稳定功率
  • 主动式前面板可完全控制发电机

 

 

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