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产品简介
瑞士VAT真空阀59024-GE01-0003型号解析（VAT命名规则）代码段含义59024系列：高真空角阀GE01法兰类型：ISO-KF400003配置代码：带气动执行器
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| 品牌 | 其他品牌 | 应用领域 | 化工,能源,汽车及零部件,电气,综合 |
|---|
瑞士VAT真空阀59024-GE01-0003
| 代码段 | 含义 |
|---|---|
| 59024 | 系列：高真空角阀 |
| GE01 | 法兰类型：ISO-KF40 |
| 0003 | 配置代码：带气动执行器 |
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 真空范围 | 10⁻⁶ ~ 1000 mbar |
| 泄漏率 | ≤1×10⁻⁹ mbar·L/s（氦检） |
| 法兰标准 | ISO-KF40（DN40） |
| 阀体材质 | 不锈钢316L（EP抛光） |
| 密封材料 | 氟橡胶（FKM）/可选全金属密封 |
| 驱动方式 | 气动（工作压力4~6 bar） |
| 响应时间 | ≤0.5秒（开/关） |
| 温度范围 | -20℃~150℃（标准型） |
超高真空设计：
金属波纹管密封（零泄漏）
阀板采用锥面密封（10⁻⁹ mbar级密封）
气动执行器：
双作用气缸（需配电磁阀控制）
带机械位置指示器
半导体设备：
晶圆传输腔体隔离
CVD/PVD工艺腔
科研装置：
同步辐射光束线
粒子加速器真空系统
法兰安装：
扭矩限制：10 Nm（ISO-KF40卡箍）
需使用无氧铜密封圈（P/N: VAT-CU40）
气路连接：
驱动气口：G1/8"（建议使用氩气吹扫）
| 信号 | 要求 |
|---|---|
| 开阀信号 | 24V DC（驱动电磁阀） |
| 关阀信号 | 弹簧复位（断电自动关阀） |
| 项目 | 周期 | 操作 |
|---|---|---|
| 密封圈更换 | 2年或10⁶次循环 | 需专用夹具拆卸 |
| 波纹管检查 | 1年 | 氦质谱仪检测 |
| 驱动气缸润滑 | 6个月 | 使用PFE真空脂 |
| 品牌/型号 | 差异点 |
|---|---|
| VAT 59024-GE01-0004 | 电动执行器版 |
| Pfeiffer VAT 58500 | 直通阀，流量更大 |
| NorCal UHV-40 | 价格低20%，泄漏率略高 |
该型号标准交货期为8-12周。如需 超高温度版（300℃） 或 无磁版本，需额外增加6周定制周期。建议配套使用VAT 52X系列 电磁阀组实现自动控制。
瑞士VAT真空阀59024-GE01-0003
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